[发明专利]发光二极管及其制造方法有效
申请号: | 201310101539.1 | 申请日: | 2013-03-27 |
公开(公告)号: | CN104078538B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 邱镜学;林雅雯;凃博闵;黄世晟 | 申请(专利权)人: | 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/32;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 | 代理人: | 曾昭毅 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种发光二极管,包括基板、形成在基板之上的第一未掺杂的GaN层。第一未掺杂的GaN层的与基板相反的表面具有多个离子植入区域。第一未掺杂的GaN层的具有离子植入区域的表面形成有多个第二未掺杂的GaN层,第二未掺杂的GaN层为岛状且部分覆盖所述离子植入区域。第二未掺杂的GaN层的表面以及离子植入区域的表面形成有一层布拉格反射层。在布拉格反射层的表面依次形成有N型GaN层、活性层以及P型GaN层。本发明还提供了一种发光二极管的制造方法。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管,包括:基板;第一未掺杂的GaN层,形成在基板之上,所述第一未掺杂的GaN层的与基板相反的表面形成有多个离子植入区域;多个第二未掺杂的GaN层,形成在第一未掺杂的GaN层之上,所述第二未掺杂的GaN层为岛状且部分覆盖离子植入区域;布拉格反射层,形成在第二未掺杂的GaN层的表面以及离子植入区域的未被第二未掺杂的GaN层覆盖的表面;以及N型GaN层、活性层以及P型GaN层,依次生长在布拉格反射层的表面。
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