[发明专利]发光二极管及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201310101539.1 申请日: 2013-03-27
公开(公告)号: CN104078538B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 邱镜学;林雅雯;凃博闵;黄世晟 申请(专利权)人: 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司
主分类号: H01L33/10 分类号: H01L33/10;H01L33/32;H01L33/00
代理公司: 深圳市鼎言知识产权代理有限公司44311 代理人: 曾昭毅
地址: 518109 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种发光二极管,包括基板、形成在基板之上的第一未掺杂的GaN层。第一未掺杂的GaN层的与基板相反的表面具有多个离子植入区域。第一未掺杂的GaN层的具有离子植入区域的表面形成有多个第二未掺杂的GaN层,第二未掺杂的GaN层为岛状且部分覆盖所述离子植入区域。第二未掺杂的GaN层的表面以及离子植入区域的表面形成有一层布拉格反射层。在布拉格反射层的表面依次形成有N型GaN层、活性层以及P型GaN层。本发明还提供了一种发光二极管的制造方法。
搜索关键词: 发光二极管 及其 制造 方法
【主权项】:
一种发光二极管,包括:基板;第一未掺杂的GaN层,形成在基板之上,所述第一未掺杂的GaN层的与基板相反的表面形成有多个离子植入区域;多个第二未掺杂的GaN层,形成在第一未掺杂的GaN层之上,所述第二未掺杂的GaN层为岛状且部分覆盖离子植入区域;布拉格反射层,形成在第二未掺杂的GaN层的表面以及离子植入区域的未被第二未掺杂的GaN层覆盖的表面;以及N型GaN层、活性层以及P型GaN层,依次生长在布拉格反射层的表面。
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