[发明专利]用于介电薄膜的原子层沉积的化学品的光激发的方法和装置

摘要

本发明涉及一种用于介电薄膜的原子层沉积的化学品的光激发的方法和装置。本发明大体来说提供一种沉积材料的方法，并且更明确地说，本发明的实施例有关于使用光激发技术来沉积阻障层、种层、导电材料以及介电材料的化学气相沉积制程以及原子层沉积制程。本发明的实施例大体来说提供辅助制程方法及设备，其中可执行该辅助制程以提供均匀沉积的材料。

主权项

一种装置，包括：腔室；基材支撑件，设置于所述腔室中并面向所述腔室的顶部；以及气体注入器，沿所述腔室的侧边设置于所述腔室内，所述气体注入器包括气流通道，该气流通道是激励所述气流通道中的气体的能量源。