[发明专利]薄膜太阳电池的槽加工工具、方法及槽加工装置有效
申请号: | 201310105510.0 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103367535A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 山田充;曾山正信 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本大阪府*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是有关于薄膜太阳电池的槽加工工具、方法及槽加工装置。提供一种可产率佳的制造集成型薄膜太阳电池的太阳电池的槽加工工具。使用槽加工工具对薄膜太阳电池的薄膜进行槽加工,该槽加工工具,由棒状的本体与形成在本体前端的圆锥梯状的刃尖区域构成;刃尖区域具有刃尖区域的底面与从刃尖区域的底面朝向本体延伸的刃尖区域的侧面;借由刃尖区域的底面与刃尖区域的侧面形成的角部构成刃尖;从刃尖区域的底面朝向本体变细地形成。本发明提供的技术方案可有效地使槽加工工具的寿命变长,变形亦少,因此能长时间高精度地进行刻划加工。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 太阳电池 加工 工具 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种薄膜太阳电池的槽加工工具,其特征在于由棒状的本体与形成在本体前端的圆锥梯状的刃尖区域构成;刃尖区域具有底面与从底面朝向本体延伸的侧面;借由底面与侧面形成的角部构成刃尖;从底面朝向本体变细地形成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的