[发明专利]涂覆基板的设备以及涂覆基板的方法

摘要

本申请公开一种用于涂覆基板的设备以及用于涂覆基板的方法，所述设备包括：水平涂覆单元，该涂覆单元具有入口和出口，基板经由所述入口和出口水平地移入和移出，并且该涂覆单元通过水平浸涂法使用涂覆液体涂覆基板的表面以形成保护层；以及刮板单元，该刮板单元布置在水平涂覆单元的所述出口的外侧，并且该刮板单元与经由所述出口从水平涂覆单元移出的基板的保护层紧密接触以使保护层的涂层厚度均匀化。根据本发明，涂覆在基板上的保护层的涂层厚度均匀地形成，并且特别地，基板边缘的涂层品质得到改进。因此，可使在基板的制造工艺过程中引入的外来物质最少，从而减少由于外来物质而导致的次品率并且提高生产率。

主权项

一种用于涂覆基板的设备，包括：水平涂覆单元，所述水平涂覆单元具有入口和出口，基板经由所述入口和所述出口水平地移入和移出，并且所述水平涂覆单元以水平浸涂的方式使用涂覆液体涂覆所述基板的表面以形成保护层；以及刮板单元，所述刮板单元布置在所述水平涂覆单元的所述出口的外侧，并且所述刮板单元与经由所述出口从所述水平涂覆单元移出的所述基板的所述保护层紧密接触以使所述保护层的涂层厚度均匀化。