[发明专利]薄膜压电元件及其制造方法、磁头折片组合及磁盘驱动器有效
| 申请号： | 201310110051.5 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103378286B | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | 熊伟;平加拉·洛卡拉宋;秦健次郎;西山一志;饭塚大助;饭岛淳 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/277;H01L41/314;G11B5/187;G11B5/48 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 中国香港新界沙田香*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜压电元件，包括衬底以及形成于衬底上的压电薄膜叠层。压电薄膜叠层包括上电极层、下电极层以及层夹于上、下电极层之间的压电层，该压电层包括第一压电层和第二压电层，第一压电层和第二压电层的成分具有不同的相结构。本发明还公开了该薄膜压电元件的制造方法，以及具有该薄膜压电元件的微致动器、磁头折片组合及磁盘驱动器。本发明极大地提高了薄膜压电元件的压电常数、矫顽场和热稳定性,从而可达到更大的施加电场而不会产生去极化，进而使其应用的装置获得更大行程。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 压电 元件 及其 制造 方法 磁头 组合 磁盘驱动器 | ||
【主权项】：
一种薄膜压电元件，包括：衬底；以及形成于所述衬底上的压电薄膜叠层，所述压电薄膜叠层包括上电极层、下电极层以及层夹于所述上电极层和所述下电极层之间的压电层，其特征在于：所述压电层包括第一压电层和第二压电层，所述第一压电层和所述第二压电层的成分具有不同的相结构；其中，包括所述第一压电层和所述第二压电层的所述压电层被形成具有成分构成和物理结构，以确保随着向薄膜压电元件递增地施加AC电压至50伏，该薄膜压电元件产生去极化电压点且行程递增；在使用时，该薄膜压电元件在‑40～125℃的温度范围下放电电压变化和极化变化的范围不超过+/‑10％。
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