[发明专利]高性能低成本AZO复合靶材制备工艺研究无效
申请号: | 201310110996.7 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN103193475A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 杨进;路彦军;李卓娜 | 申请(专利权)人: | 杭州碳诺光伏材料有限公司 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/622 |
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地址: | 310013 浙江省杭州市西*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 高纯度、高密度、低成本的烧结复合氧化锌铝材料。本发明属于无机化学金属元素;其化合物。本发明公开了一种新型致密的复合氧化锌铝。其特征是在粉末中加入氧化镓Ga2O3粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化。本发明所述的烧结AZO纯度高于99.9%,相对密度≥99.4%。这种致密的复合氧化锌铝可作为镀膜用靶材,在平板显示、光电转换、电子玻璃等领域有着广泛的应用。 | ||
搜索关键词: | 性能 低成本 azo 复合 制备 工艺 研究 | ||
【主权项】:
一种新型致密的复合氧化锌铝,其特征是在粉末中加入氧化镓(Ga2O3)粉末、并且不添加任何烧结助剂而使氧化锌铝烧结致密化,所述的烧结AZO纯度高于99.9%,相对密度≥99.4%。
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