[发明专利]化学液供应与回收装置无效
| 申请号： | 201310113136.9 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104103546A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 王坚;何增华;贾照伟;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆嘉 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种化学液供应与回收装置，包括：溶剂供应单元、化学液原液供应单元、化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元。溶剂供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应溶剂。化学液原液供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应化学液原液。化学液混合和供应单元将溶剂和化学液原液均匀混合并输出。回收液混合和供应单元将已经过净化处理过的回收液与溶剂或化学液原液均匀混合并供应至化学液混合和供应单元。本发明通过将回收液回收并净化，然后配比成浓度与化学液混合和供应单元内的化学液的浓度一致，最后再供应至化学液混合和供应单元用于工艺加工，从而使回收液得到了循环利用，降低了工艺加工成本，同时，也减少了回收液的排放，进而降低了环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 供应 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种化学液供应与回收装置，其特征在于，包括：溶剂供应单元、化学液原液供应单元、化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元；所述溶剂供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应溶剂，所述化学液原液供应单元分别向化学液混合和供应单元及回收液混合和供应单元供应化学液原液，所述化学液混合和供应单元将溶剂和化学液原液均匀混合并输出，所述回收液混合和供应单元将已经过净化处理过的回收液与溶剂或化学液原液均匀混合并供应至化学液混合和供应单元。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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