[发明专利]物理量传感器以及电子设备

摘要

本发明提供一种物理量传感器以及电子设备，所述物理量传感器能够抑制在可动体上产生应力的情况。本发明所涉及的物理量传感器（100）包括基板(10)；固定部(32)及固定电极部(39a、39b)，其被固定在基板(10)上；可动体(34)，其具备支承部(35)、可动电极部(38)以及弹簧部(36)，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴而进行位移，其中，所述支承部(35)在俯视观察时被设置在固定部(32)的周围，所述可动电极部(38)被支承在支承部(35)上并沿着第一轴而延伸，且以与固定电极部(39a、39b)对置的方式而配置，所述弹簧部(36)对固定部(32)和支承部(35)进行连结，支承部(35)具备沿着第一轴而延伸的第一梁部(35a、35b)、和沿着第二轴而延伸的第二梁部(35c、35d)。

主权项

一种物理量传感器，包括：基板；固定部及固定电极部，其被固定在所述基板上；可动体，其具备支承部、可动电极部以及弹簧部，并且能够沿着与第一轴交叉的第二轴进行位移，其中，所述支承部在俯视观察时被设置在所述固定部的周围，所述可动电极部被支承在所述支承部上并沿着所述第一轴而延伸，且以与所述固定电极部对置的方式而配置，所述弹簧部对所述固定部和所述支承部进行连结，所述支承部具备沿着所述第一轴而延伸的第一梁部、和沿着所述第二轴而延伸的第二梁部，所述第二梁部沿着所述第二轴而设置有一对，所述可动电极部从各个所述第二梁部起沿着所述第一轴而延伸，相对于一个所述固定电极部，对置有至少两个所述可动电极部，所述固定电极部具有与其他部分相比沿着所述第二轴的方向上的大小较宽的宽幅部，所述固定电极部被设置有多个，在多个所述固定电极部中的相邻的第一固定电极部与第二固定电极部之间，配置有所述可动电极部，所述第一固定电极部的所述宽幅部与所述第一固定电极的所述其他部分相比向所述第二固定电极部侧突出，所述第二固定电极部的所述宽幅部与所述第二固定电极的所述其他部分相比向所述第一固定电极部侧突出，在从沿着所述第一轴的方向观察时，所述第一固定电极部的所述宽幅部与所述第二固定电极部的所述宽幅部重叠。