[发明专利]铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法

摘要

本发明属于计量测试技术领域，涉及的铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法铝采用碱熔法对铟镓氮晶片外延层进行表面刻蚀，用硫酸中和刻蚀液，用硫酸或氨水进行酸度调节，采用铟—乙基紫络合显色体系，用分光光度法测定络合体系的吸光度，计算得到铟镓氮晶片的铟含量；采用深紫外光致发光光谱仪监视刻蚀程度，提高样品有效转移率，控制刻蚀深度。重复测量的标准偏差大约为1%，加标回收率大于95%。适用于铟镓氮晶片外延层中铟含量的准确测试，可以作为高分辨X射线衍射法、卢瑟福背散射法等物理法测量铟镓氮晶片中铟含量的一种验证方法，也可以作为铟镓氮晶体外延片成分标准物质的一种定值方法。

主权项

一种铟镓氮晶片外延层中铟元素含量的测试方法，包括待测样品溶液制备、络合显色和吸光度测试及数据处理：（1）待测样品溶液制备：铟镓氮晶片，用稀盐酸和丙酮除油除尘、干燥，准确称量样品，采用碱熔法对铟镓氮样品表面进行刻蚀，用硫酸调节刻蚀液酸度PH值介于2～3之间，定容得到待测样品溶液；（2）络合显色和吸光度测试：依次向待测样品溶液中加入硫酸、碘化钾溶液、硫代硫酸钠溶液和乙基紫溶液，得到铟—乙基紫蓝紫色络合物，用苯萃取有机相得到待测样品络合物溶液，采用分光光度计测定络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度；（3）数据处理：以络合显色铟标准溶液在619±5nm处的吸光度与铟元素含量关系为基准；用待测样品络合物溶液在619nm±5nm处的吸光度，与铟标准溶液曲线比对，按下式计算得到样品中铟镓氮晶片外延层中铟元素含量： w Al = m m 0 - m 1 × 100 式中：wIn—铟镓氮外延层中铟元素质量分数；m—分光光度法测量得到的铟元素的质量；m0—铟镓氮晶片的原始质量；m1—刻蚀后铟镓氮晶片的质量。