[发明专利]传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法有效
| 申请号： | 201310118845.6 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103364590A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 乔纳森·亚当·克莱克斯;约恩·奥普里斯;贾斯廷·森 | 申请（专利权）人： | 快捷半导体（苏州）有限公司;快捷半导体公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P21/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 武晨燕;张颖玲 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及传感器电路和对微机电系统传感器进行测试的方法。一种传感器电路，包括微机电系统(MEMS)传感器和集成电路(IC)，所述MEMS传感器包括第一电容元件和第二电容元件，所述IC包括开关网络电路和电容测量电路。所述开关网络电路配置成将所述MEMS传感器的所述第一电容元件与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二电容元件电耦合到所述IC的第二输入端。所述电容测量电路可配置成在向该被解耦的第一电容元件施加第一电信号期间测量所述MEMS传感器的所述第二电容元件的电容。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 电路 微机 系统 进行 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种传感器电路，包括：微机电系统(MEMS)传感器，包括第一电容元件和第二电容元件；以及IC，包括：开关网络电路，配置成将所述MEMS传感器的所述第一电容元件与所述IC的第一输入端电解耦，并且将所述第二电容元件电耦合到所述IC的第二输入端；以及电容测量电路，配置成在向被解耦的第一电容元件施加第一电信号期间测量所述MEMS传感器的所述第二电容元件的电容。
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