[发明专利]图案形成装置有效
| 申请号： | 201310120340.3 | 申请日： | 2013-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN103386823A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 中嶋美佳;增市干雄;川越理史;上野博之 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 宋晓宝 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案形成装置，使担载体（BL）上的图案形成区域（Al）与板状的物体（PP）相抵接来进行图案形成，并在图案形成时与图案形成区域（Al）相向的区域（A2）的外侧吸附物体（PP）。具体地说，在吸附板（34）中的在图案形成时与物体（PP）的区域（A2）相向的区域（A3）的外侧形成有被供给负压的槽状的开口（351），进而，在该开口（351）的外侧，设有分别局部吸附物体（PP）的局部吸附部（352）。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 装置 | ||
【主权项】：
一种图案形成装置，使担载体上的图案形成区域与板状的物体相抵接来形成图案，其特征在于，具有：负压供给单元，用于供给负压，吸附单元，利用由所述负压供给单元供给的负压来吸附保持所述物体，所述吸附单元对所述物体上的在形成所述图案时与所述图案形成区域相向的区域的外侧进行吸附。
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