[发明专利]用于检查石墨烯板的设备和方法

摘要

本发明提供一种用于检查石墨烯板的设备和方法。用于检查形成有至少一个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备包括光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将接收到的所述至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测的透射率以通过分析检测的透射率来确定石墨烯板的状态。

主权项

一种用于检查形成有多个石墨烯层的石墨烯板的石墨烯板检查设备，所述石墨烯板检查设备包括：光处理单元，将至少一束光照射到石墨烯板上，接收穿透石墨烯板的所述至少一束光，并将所接收到的至少一束光转换成输出信号；透射率检测单元，接收来自光处理单元的输出信号以检查穿透石墨烯板的所述至少一束光的透射率；和确定单元，连接到透射率检测单元，并接收检测到的透射率，以通过分析检测到的透射率来确定石墨烯板的状态，其中，确定单元包括：数据计算单元，利用石墨烯板的移动距离来计算所述多个石墨烯层中的每个石墨烯层的宽度和所述多个石墨烯层之间的间距，其中，通过在移动石墨烯板的同时将所述至少一束光发射到所述多个石墨烯层并分析检测到的透射率来测量所述宽度和所述间距；分类单元，通过分析检测的透射率来将石墨烯板分类为好的石墨烯板或有缺陷的石墨烯板。