[发明专利]高灵敏真空动力引入装置及真空制程设备

摘要

本发明公开了一种高灵敏真空动力引入装置及真空制程设备，所述高灵敏真空动力引入装置包括有一壳体，是设置在真空制程设备内，在该壳体内设置有外轴，该外轴可相对壳体进行旋转，在外轴内设置有传动轴，传动轴可相对于外轴进行旋转，并在壳体与外轴之间设有外轴密封件，外轴与传动轴之间则设有传动轴密封件，以维持各部件之间的气密与真空度。通过上述设置，该传动轴可在真空环境下，减少构件之间的摩擦力，达到以小动力即可完成真空机械动力引入之目的。

主权项

一种高灵敏真空动力引入装置，其特征在于：该装置包括：一壳体；一外轴，设置在所述壳体内且能够旋转；一传动轴，设置在所述外轴内且能够旋转，用来传输动力；一外轴密封件，设置在所述壳体与外轴之间，用于分隔动力引入方向的高压侧及动力输出方向的低压侧；以及一传动轴密封件，设置在所述外轴与传动轴之间，用于分隔动力引入方向的高压侧及动力输出方向的低压侧。