[发明专利]硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备有效

专利信息
申请号: 201310122351.5 申请日: 2013-04-09
公开(公告)号: CN103194801A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 王英超;熊景峰;胡志岩;李高非;赵文超 申请(专利权)人: 英利能源(中国)有限公司
主分类号: C30B31/16 分类号: C30B31/16
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 吴贵明;张永明
地址: 071051 河*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备。硼扩散炉管尾气处理方法包括将炉管(10)中的硼尾气排入尾气管(20);向尾气管(20)中通入携水气体,使得尾气管(20)中的硼尾气溶解于携水气体中并与携水气体一起排出所述尾气管(20)。根据本发明的硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备,可以提高硼扩散炉管尾气的处理速度,减少单位时间内对硼扩散炉管尾气处理部分的维护清洗次数,降低企业生产成本。
搜索关键词: 扩散 炉管 尾气 处理 方法 设备
【主权项】:
一种硼扩散炉管尾气处理方法,其特征在于,包括:将炉管(10)中的硼尾气排入尾气管(20);向所述尾气管(20)中通入携水气体,使得所述尾气管(20)中的所述硼尾气溶解于所述携水气体中并与所述携水气体一起排出所述尾气管(20)。
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