[发明专利]超高分辨率光栅尺有效
| 申请号： | 201310122926.3 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103234456A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 魏泽鼎;石建玲;张弛 | 申请（专利权）人： | 河北科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李羡民;高锡明 |
| 地址： | 050018 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种超高分辨率光栅尺，它包括平面光源以及垂直于平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅、动光栅和线阵CCD传感器，所述线阵CCD传感器与动光栅并排固定在一起，所述线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅的长度相对应；在定光栅的栅格数为N-1的长度上动光栅的栅格数恰好是N个栅格，即动光栅的栅距等于定光栅的栅距*[(n-1）/n],其中，n是在动光栅长度内所能刻画出的光栅数。本发明的定光栅和动光栅利用游标卡尺的测量原理测量位移，同时利用线阵CCD传感器采集测量信号，大大提高了光栅尺的分辨率，特别适用于对测量精度要求较高的场合。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 分辨率 光栅尺 | ||
【主权项】：
一种超高分辨率光栅尺，其特征是，它包括平面光源（4）以及垂直于平面光源（4）的照射方向并沿平面光源（4）的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅（1）、动光栅（2）和线阵CCD传感器（3），所述线阵CCD传感器（3）与动光栅（2）并排固定在一起，所述线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅（2）的长度相对应；在定光栅的栅格数为N‑1的长度上动光栅的栅格数恰好是N个栅格，即动光栅的栅距等于定光栅的栅距* [(n‑1）/ n],其中n是在动光栅长度内所能刻画出的光栅数。
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