[发明专利]微机械残余应力的测试结构及其测试方法有效
| 申请号： | 201310124315.2 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103196592A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;杨刚 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机械残余应力的测试结构及其测试方法，微机械残余应力的测试结构，包括四组结构尺寸参数完全相同的微机械梁测试结构，四组微机械梁测试结构的指针梁分别记为1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁；所述1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁位于同一竖直平面内，且在残余应力释放前，1号指针梁和3号指针梁位于同一竖直线上，2号指针梁和4号指针梁位于同一水平线上。本发明提供的微机械残余应力的测试结构及其测试方法，成功解决了梁长变化小不易测量的问题，与传统微机械残余应变测试结构相比，结构自身就有可靠的参照点进行测量；并且与传统微机械梁组合相比，精度更高，精确度提高了数倍。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 残余 应力 测试 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
微机械残余应力的测试结构，其特征在于：包括四组结构尺寸参数完全相同的微机械梁测试结构；所述微机械梁测试结构包括一个指针梁和两个结构尺寸参数完全相同的测试梁，所述两个测试梁位置平行且与指针梁相互垂直，所述指针梁和测试梁之间的交点记为旋转点；所述四组微机械梁测试结构的所有指针梁和测试梁均位于同一竖直平面内；记四组微机械梁测试结构的指针梁分别记为1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁；所述1号指针梁、2号指针梁、3号指针梁和4号指针梁位于同一竖直平面内，且在残余应力释放前，1号指针梁和3号指针梁位于同一竖直线上，2号指针梁和4号指针梁位于同一水平线上。
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