[发明专利]一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜

摘要

本发明公开了一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜装置，包括显微物镜、第一套筒组件和第二套筒组件，第一套筒组件一端通过螺纹固定在显微物镜上，另一端与第二套筒组件连接，通过止螺固定，第一套筒组件与第二套筒组件连接面带有螺纹，第一套筒组件包括第一套筒、第一压圈、参考镜，第一套筒通过螺纹固定在显微物镜上，另一端带有三阶台阶，第一压圈通过螺纹将参考镜固定在第一套筒上，第二套筒组件包括第二套筒、第二压圈、分光镜，第二套筒底部带有两阶台阶，靠近待测件的台阶半径最小，第二压圈通过螺纹将分光镜固定在第二套筒上。本装置结构简单，体积小，加工容易，适用性高，应用在白光干涉显微镜中，可产生白光干涉条纹，为表面微观三维轮廓的高精度测量提供必要手段。

主权项

一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜，其特征在于：包括显微物镜[11]、第一套筒组件[1]和第二套筒组件[5]，第一套筒组件[1]一端通过螺纹固定在显微物镜[11]上，另一端与第二套筒组件[5]连接，通过止螺[9]固定第二套筒组件[5] ，第一套筒组件[1]与第二套筒组件[5]连接面带有螺纹，第一套筒组件[1]包括第一套筒[4]、第一压圈[3]、参考镜[4]，第一套筒[2]通过螺纹固定在显微物镜[11]上，另一端带有三阶台阶，靠近显微物镜[11]镜头的台阶半径最小，为第一台阶，其后分别为第二台阶和第三台阶，第一压圈[3]通过螺纹将参考镜[4]固定在第一套筒[2]的第一台阶下表面，第二套筒组件[5]包括第二套筒[6]、第二压圈[7]、分光镜[8]，第二套筒[6]底部带有两阶台阶，靠近待测件[10]的台阶半径最小，为第四台阶，其后为第五台阶，第二压圈[7]通过螺纹将分光镜[8]固定在第二套筒[6]的第四台阶上表面。