[发明专利]各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片有效

专利信息
申请号: 201310125985.6 申请日: 2013-04-12
公开(公告)号: CN103197367A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 齐红基;侯永强;朱美萍;易葵 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30;C03C17/245
代理公司: 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人: 张泽纯
地址: 201800 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种基于各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片,由基底、各向同性的高低折射率膜层周期性交替组成的高反射膜层以及各向异性的位相延迟层一体构成,各向同性的高反射膜可以实现入射光高反射,各向异性薄膜层为反射位相延迟层,本发明在正入射条件下,可以实现两种入射偏振光波的偏振分离,获得特定的反射位相差。反射位相差通过调节各向异性薄膜层的倾斜沉积角度和厚度来实现,具有很高的设计灵活性。本发明中各向异性薄膜层的引入为反射式位相延迟片的设计提供了新方法。
搜索关键词: 各向异性 各向同性 混合 薄膜 反射 位相 延迟
【主权项】:
一种各向异性和各向同性混合薄膜反射式位相延迟片,其特征在于是由基底上依次镀制的各向同性的高反射膜(4)和各向异性薄膜层(3)一体构成,所述的高反射膜(4)的结构为(HL)xH,其中H为高折射率层(1),L为低折射率膜层(2),x为高折射率层(1)和低折射率膜层(2)重复的次数,所述的高反射膜(4)的最外层为高折射率层(1),每一膜层的光学厚度为四分之一使用波长λ,所述的各向异性薄膜层(3)的光学厚度及该膜层制备时的倾斜沉积角度决定反射式位相延迟片的反射位相延迟量。
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