[发明专利]点衍射干涉波像差测量仪及检测方法

摘要

一种点衍射干涉波像差测量仪，由光源、分光器、第一光强与偏振态调节器、相移器、第二光强与偏振态调节器、理想波前发生单元、物方精密调节台、被测光学系统、像方波前检测单元、像方精密调节台和数据处理单元组成。本发明干涉仪具有结构简单、相移元件不产生系统误差、高干涉条纹可见和可标定系统误差的优点。

主权项

一种点衍射干涉波像差测量仪，其特征在于该测量仪的构成包括：光源（1）、分光器（2）、第一光强与偏振态调节器（3）、相移器（4）、第二光强与偏振态调节器（5）、理想波前发生单元（6）、物方精密调节台（7）、被测光学系统（8）、像方波前检测单元（9）、像方精密调节台（10）和数据处理单元（11），所述的像方波前检测单元（9）由像方掩模（901）、光电传感器（902）、支架（903）构成，像方掩模（901）包括透光窗口（901b）和滤波圆孔（901a），所述的光电传感器（902）包括一个二维探测器（902b），上述各元部件的位置关系如下：在所述的光源（1）输出光的前进方向是所述的分光器（2），该分光器（2）将入射光分为两路：一路为光程可调光路（2A），另一路为光程固定光路（2B）；在光程可调光路（2A）上依次是第一光强与偏振态调节器（3）和相移器（4），经该光程可调光路的入射光输入所述的理想波前发生单元（6）的第一输入端（6A）；所述的光程固定光路（2B）上放置第二光强与偏振态调节器（5），经该光程固定光路（2B）的入射光输入所述的理想波前发生单元（6）的第二输入端（6B）；该理想波前发生单元（6）的第一输出端（6C）和第二输出端（6D）位于所述的被测光学系统（8）的物面；该理想波前发生单元（6）由物方精密调节台（7）支撑并精密定位；所述的像方波前检测单元（9）位于被测光学系统（8）的像方，像方波前检测单元（9）的像方掩模（901）位于被测光学系统（8）的像面，光电传感器（902）的二维探测器（902b）位于沿光前进方向像方掩模（901）之后；像方波前检测单元（9）由所述的像方精密调节台（10）支撑并精密定位；像方波前检测单元（9）的输出信号输入所述的数据处理单元（11）。