[发明专利]光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201310126184.1 | 申请日： | 2013-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN103197511A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 谢承科;陈明;杨宝喜;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J1/42 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光刻机能量传感器的性能测量装置和测量方法，装置由光源、起偏器、分束镜、测量光衰减片、转动控制器、待测能量传感器、参考光衰减片、参考能量传感器、多功能信号处理卡和计算机组成，该测量装置可分别对光刻机能量传感器的重复性、能量线性度和频率线性度进行高精度测量；本发明具有测量方法简单、易实现，成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 机能 传感器 性能 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光刻机能量传感器的性能测量装置，特征在于其构成包括光源（1）、起偏器（2）、分束镜（3）、测量光衰减片（4）、转动控制器（8）、待测能量传感器（5）、参考光衰减片（6）、参考能量传感器（7）、多功能信号处理卡（9）和计算机（10），上述元部件的位置关系如下：在所述的光源（1）输出光束方向依次是所述的起偏器（2）、分束镜（3）、测量光衰减片（4）、待测能量传感器（5），所述的分束镜（3）与所述的光束成45°夹角，在所述的分束镜（3）的反射光方向依次是所述的参考光衰减片（6）和参考能量传感器（7），所述的测量光衰减片（4）固定在所述的转动控制器（8）转动轴上，所述的多功能信号处理卡（9）的输入端分别与所述的待测能量传感器（5）的输出端和参考能量传感器（7）的输出端相连，所述的多功能信号处理卡（9）的第一输出端与所述的转动控制器（8）控制端相连，所述的多功能信号处理卡（9）的第二输出端与所述的计算机（10）的输入端相连。
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