[发明专利]一种金丝互连结构的建模和参数提取方法有效
| 申请号： | 201310129275.0 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103198194A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 殷晓星;王磊;赵洪新 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/768 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金丝互连结构的建模和参数提取方法，包括金丝模型、微带线缺口电路模型、左右两个短传输线模型，金丝模型上设置有金丝键合点，微带线缺口电路模型上设置有微带线缺口，短传输线模型作为金丝键合点和微带线缺口之间的传输线；左短传输线模型、微带线缺口电路模型和右短传输线模型顺序串联后，与金丝模型并联连接；短传输线模型的参数为金丝键合点到微带线缺口的距离c的函数。本发明提供的金丝互连结构的建模和参数提取方法，可以对金丝键合点的位置进行研究，定量分析工艺误差对金丝互连特性的影响，便于分析工艺容差；还可以对金丝键合点的位置进行统计规律演绎，对工艺控制给出指导。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金丝 互连 结构 建模 参数 提取 方法 | ||
【主权项】：
一种金丝互连结构的建模和参数提取方法，其特征在于：包括金丝模型、微带线缺口电路模型、两个短传输线模型，所述金丝模型上设置有金丝键合点，所述微带线缺口电路模型上设置有微带线缺口，所述短传输线模型作为金丝键合点和微带线缺口之间的传输线；所述两个短传输线模型分别记为左短传输线模型和右短传输线模型，左短传输线模型、微带线缺口电路模型和右短传输线模型顺序串联后，与金丝模型并联连接；所述短传输线模型的参数为金丝键合点到微带线缺口的距离c的函数。
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