[发明专利]选择性铁蚀刻液及蚀刻方法有效
| 申请号： | 201310130089.9 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103194755A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 陈修宁;李建;王扩军;黄志齐;黄京华;王淑萍 | 申请（专利权）人： | 昆山市板明电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/28 | 分类号： | C23F1/28;C23F1/02 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种选择性铁蚀刻液，包括水溶性芳香族硝基化合物、无机酸、缓蚀剂和去离子水，所述水溶性芳香族硝基化合物的含量为4-250g/L，所述无机酸的含量为2-10mol/L，所述缓蚀剂的含量为0.1-2 g/L。本发明采用新型的选择性蚀刻体系，蚀铁速度快，蚀刻速率稳定；蚀刻后表面均匀，侧蚀小，边线整齐；蚀铜速率小，蚀铁速率与蚀铜速率比≥200；蚀刻液中不含卤酸或者硝酸等挥发性大的原料，蚀刻液更加绿色环保。该蚀刻液适用于铜基材表面铁的选择性蚀刻，也适应于碳钢和低合金钢及其构件的精细加工。 | ||
| 搜索关键词： | 选择性 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
一种选择性铁蚀刻液，可以选择性蚀刻铜基材表面的铁，蚀铁速率与蚀铜速率比≥200，其特征在于：所述选择性铁蚀刻液包括水溶性芳香族硝基化合物、无机酸、缓蚀剂和去离子水，所述水溶性芳香族硝基化合物的含量为4‑220g/L，所述无机酸的含量为2‑10mol/L，所述缓蚀剂的含量为0.1‑2 g/L。
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