[发明专利]固体激光回馈干涉仪

摘要

本发明涉及一种固体激光回馈干涉仪，包括：微片激光器、第一分光镜、第一移频器、第二移频器、汇聚透镜、共路器、光电探测器、电信号处理系统以及数据采集处理系统。其中，所述共路器设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元。

主权项

一种固体激光回馈干涉仪，包括：微片激光器，用于发出激光；第一分光镜，设置在所述激光的出射光路上，并将激光分成两路，一路为透射光，一路为反射光；第一移频器和第二移频器，所述第一移频器、第二移频器依次设置在所述透射光的光路上，所述透射光经过所述第一移频器、第二移频器后，部分的所述透射光经过两次衍射，部分的所述透射光未经过衍射，所述经过两次衍射的透射光作为测量光，所述未经过衍射的透射光作为参考光；汇聚透镜，该汇聚透镜设置在所述第二移频器之后，用于汇聚所述测量光以及参考光，该汇聚透镜将所述测量光汇聚到一待测目标上，所述测量光经该待测目标反射，沿该测量光的原光路返回到所述微片激光器中作为测量回馈光；光电探测器，设置在所述反射光的光路上；电信号处理系统，与所述光电探测器电连接；以及数据采集处理系统，与所述电信号处理系统电连接；其特征在于，进一步包括共路器，设置在所述汇聚透镜之后，该共路器包括一反射镜以及一共路单元，所述反射镜将所述参考光沿平行于所述测量光的方向入射到所述共路单元中，所述共路单元用于将入射的所述参考光沿平行于所述测量光的光路返回到所述微片激光器中作为参考回馈光，该电信号处理系统分别输出所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量，该数据采集处理系统根据所述参考回馈光和测量回馈光的相位变化量计算所述待测目标的位移信息。