[发明专利]一种薄膜材料塞贝克系数测量仪

摘要

本发明涉及热电性能测试领域的一种测量仪，特别涉及一种薄膜材料塞贝克系数测量仪。该测量仪包括样品台、温度控制系统和数据采集系统。样品台包括样品夹和底座，样品夹为两部分，用来固定测试样品，分别称为热端和冷端；温度控制系统包括传感器、温控器、继电器、加热器和冷却器，传感器、加热器和冷却器均设置在样品夹上，数据采集系统包括金电极和数据采集卡。本发明提供的塞贝克系数测量仪可以测量厚度大于20nm薄膜的塞贝克系数，同时也能够测量厚度小于10mm块体的塞贝克系数，并且可以以每秒10000次的速度进行连续动态测量，大大增加了数据可靠性和测试效率。

主权项

一种薄膜材料塞贝克系数测量仪，其特征在于，包括样品台、温度控制系统和数据采集系统；所述样品台包括样品夹和底座，所述样品夹用来固定测试样品，其包括热端部和冷端部，所述热端部和冷端部分别固定测试样品的两端；所述温度控制系统包括传感器、温控器、继电器、加热器和冷却器，所述传感器、加热器和冷却器均设置在所述样品夹上，所述温控器输入端与所述传感器相连，其输出端与所述继电器输入端相连，所述加热器和所述冷却器分别与所述继电器的输出端相连，所述热端部和所述冷端部之间具有温差；所述数据采集系统包括金电极和数据采集卡；所述金电极用于采集测试样品的电压信号，通过所述数据采集卡进行模数转换，显示于具有信息交互单元的计算机。