[发明专利]双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液

摘要

本发明涉及一种双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液，其特征在于：所述蓝宝石衬底抛光液是专门针对双面抛光机使用。该抛光液是一种含有二氧化硅、氧化剂、碱性组合物、表面活性剂及水的组合物。所述氧化剂可以氧化工件表面的金属杂质，从而防止抛光后的工件表面被金属污染，提高工件表面的抛光质量。所述表面活性剂为阴离子和非离子表面活性剂，该表面活性剂的加入可以使抛光液具有更低的表面张力、高流动性和渗透性，可以降低抛光中的摩擦阻力并取得更佳的润滑作用，且双面抛光机较单面抛光机抛光效率高，在提高抛光效率的同时有更佳抛光效果，并且可以降低生产成本。

主权项

一种双面抛光机用蓝宝石衬底抛光液，其特征在于：该抛光液专门针对双面抛光机使用，是一种含有氧化剂、阴离子表面活性剂和非离子表面活性剂的抛光液，含有二氧化硅、碱性化合物、表面活性剂及水。二氧化硅是胶体二氧化硅、气相二氧化硅或者沉淀法二氧化硅。氧化剂为任何可溶于水介质中的氧化剂，且其氧化势大于被抛光工件内金属的氧化势，常用的有氯酸盐、高氯酸盐、亚氯酸盐、硝酸铁、过氧化物及过硫酸盐等。碱性化合物例如是氢氧化锂、氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、乙二胺、三乙醇胺、氢氧化四甲基铵等有机碱类。阴离子表面活性剂是磺酸型表面活性剂、羧酸型表面活性剂及硫酸脂型表面活性剂中的一种，非离子表面活性剂是聚氧乙烯型非离子表面活性剂、多元醇脂肪酸酯型非离子表面活性剂、聚醚型非离子表面活性剂中的一种。