[发明专利]一种谐振器件的制备方法有效
| 申请号： | 201310135255.4 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN104113296B | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘若鹏;金曦 | 申请（专利权）人： | 深圳光启创新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518034 广东省深圳市福田*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种谐振器件的制备方法，包括如下步骤：S1、准备介质谐振子；S2、在所述介质谐振子表面通过溅射工艺镀上导体层，得到谐振子。该谐振子既有介质谐振子的高Q值和功率高的特点，又兼具有金属谐振子的体积小、谐振频率低的优点；而相对于化学电镀上的导体层，采用溅射电镀得到的高光洁度的表面，有利于电磁波在导体层中谐振，减少振荡损耗，谐振子的整体Q值高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、准备圆筒形介质谐振子，所述介质谐振子的介质为介电常数大于1的材料；S2、在所述圆筒形介质谐振子的外圆柱面通过溅射工艺镀上导体层，得到谐振子；所述谐振子镀上导体层后的表面粗糙度的轮廓算术平均偏差小于1微米，所述导体层的厚度大于等于1纳米；S3、将所述谐振子固定在空的谐振腔中，封闭谐振腔；S4、利用谐振腔上的调谐螺杆进行调谐，达到目标值，得到滤波器。
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