[发明专利]一种金属导线表面等离子处理方法无效
| 申请号： | 201310135275.1 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103255380A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 于庆先;雷清泉;郝春成 | 申请（专利权）人： | 青岛科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 山东清泰律师事务所 37222 | 代理人： | 朱兵 |
| 地址： | 266061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属导线表面等离子处理方法，包括如下步骤：第一步，预制靶材；第二步，组装；第三步，上电；第四步，反应；本发明将靶材制成圆筒状，圆筒状靶材相当于空心阴极，氩气在圆筒状靶材电场的作用下电离，轰击靶材内表面，轰击出的金属形成等离子体，通入的反应气体（氧气、氢气、氮气等）也形成等离子体，在金属导线负电位的吸引下共同沉积在金属导线表面，形成涂层，金属导线在导线辊的牵引下不断通过圆筒状靶材，从而在金属导线表面均匀地形成涂层，提高金属导线表面的理化性质；靶材设计结构合理，步骤连贯简洁，容易操作，有效降低生产成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 导线 表面 等离子 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种金属导线表面等离子处理方法，其特征在于，包括如下步骤：第一步，预制靶材：将靶材制成圆筒状，圆筒直径为30‑8cm，圆筒的长度根据需要制作或分段，；第二步，组装：将金属导线从靶材的中间穿过且不与靶材接触，导线辊位于靶材的两边，将靶材放置在真空室中，靶材及导线辊均与真空室绝缘；第三步，上电：通入氩气作为载气，靶材设为负电位，电压为‑1000~‑2800V；通过调整导线辊使不断移动的金属导线保持负电位，电压为‑100~‑500V；第四步，反应：通入反应气体，反应气体与氩气在圆筒金属电场的作用下电离，形成涂层均匀沉积在金属导线表面。
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