[发明专利]一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201310135894.0 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103274699A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄誓成;何建进;陆映东 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C04B35/622 | 分类号： | C04B35/622;C04B35/457 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545036 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将由化学共沉淀法得到氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，制得氧化铟锡管状素坯，再将氧化铟锡管状素坯在脱脂炉中进行脱脂，然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的氧化铟锡旋转靶材。本发明制备的氧化铟锡管状旋转靶材，其优点在溅射过程中，靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，同时溅射原子可向各个方向飞行，均匀性好，溅射面积大，更换操作方便，生产效率高，靶材利用率高(>80%)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）将由化学共沉淀法得到的氧化铟锡粉末装入管状柔性模具中，以200～400MPa压力进行冷等静压成型，冷等静压结束后，卸压至常压，脱模后获得氧化铟锡管状素坯；（2）再将氧化铟锡管状素坯放入脱脂炉中进行脱脂；（3）然后将脱脂后的坯体放入压力烧结炉中，按一定的烧结条件在氧气压力下进行压力烧结，得到相对密度在99%以上的管状氧化铟锡靶材，即氧化铟锡旋转靶材。
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