[发明专利]埋入式字线动态随机存取存储器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201310138207.0 申请日: 2013-04-19
公开(公告)号: CN104112746B 公开(公告)日: 2017-06-06
发明(设计)人: 蔡泓祥;郑璨耀 申请(专利权)人: 华邦电子股份有限公司
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司72003 代理人: 赵根喜,吕俊清
地址: 中国台湾台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种埋入式字线动态随机存取存储器及其制造方法。所述埋入式字线动态随机存取存储器包括基板、至少一个埋入式字线结构、第一掺杂区以及第二掺杂区。埋入式字线结构是配置在基板中。第一掺杂区是邻接埋入式字线结构配置在基板中。第二掺杂区是配置在第一掺杂区上方的基板中,其中第一掺杂区的掺杂浓度低于第二掺杂区的掺杂浓度。
搜索关键词: 埋入 式字线 动态 随机存取存储器 及其 制造 方法
【主权项】:
一种埋入式字线动态随机存取存储器,其特征在于包括:基板;至少一埋入式字线结构,配置于所述基板中,所述埋入式字线结构包括一埋入式字线;第一掺杂区,邻接所述埋入式字线结构配置在所述基板中;以及第二掺杂区,配置在所述第一掺杂区上方的所述基板中,其中所述第一掺杂区的掺杂浓度低于所述第二掺杂区的掺杂浓度,且所述第一掺杂区与所述第二掺杂区的界面在所述基板中的深度为所述埋入式字线的顶部表面在所述基板中的深度,且所述第二掺杂区几乎不与所述埋入式字线重叠。
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