[发明专利]一种Ta-Mo-N复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201310138418.4 | 申请日： | 2013-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN103243303A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 喻利花;许俊华;薛亚萍 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及Ta-Mo-N复合涂层及其制备方法，Ta-Mo-N复合涂层是采用高纯Ta靶和高纯Mo靶共溅射，与真空室中Ar气和N2混合气体中的N2气反应生成Ta-Mo-N，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上形成；该复合涂层的硬度为30～34GPa，常温下的摩擦系数为0.4～0.5且随温度升高而降低。本发明所得的Ta-Mo-N复合涂层不但具有高硬度，而且具有较低的常温和高温摩擦系数，可作为高速切削刀具及其它在高温条件下服役耐磨工件的涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ta mo 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
Ta‑Mo‑N复合涂层，其特征在于采用高纯Ta靶和高纯Mo靶共溅射，与真空室中Ar气和N2混合气体中的N2气反应生成Ta‑Mo‑N，沉积在金属、硬质合金或陶瓷的基体上形成；该涂层的硬度为30～34GPa，常温下的摩擦系数为0.4～0.5且随温度升高而降低。
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