[发明专利]一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法无效
申请号: | 201310140262.3 | 申请日: | 2013-04-22 |
公开(公告)号: | CN103193507A | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 乔冠军;刘桂武;赵三团;张相召;沈湘黔 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | C04B41/80 | 分类号: | C04B41/80 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种陶瓷表面处理方法,特别是涉及一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法。本发明通过在SiC陶瓷表面注入一定剂量的金属离子,降低金属对SiC陶瓷表面的接触角,改善金属与陶瓷的界面结合,提高SiC陶瓷与金属接触界面的热、电性能,能适用于高低温应用场合,从而使得后续制备的陶瓷/金属钎焊接头、陶瓷/金属复合材料或半导体器件具有高可靠性、使用寿命长等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 金属 sic 陶瓷 润湿 方法 | ||
【主权项】:
一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)SiC陶瓷的磨平、抛光; (2)SiC陶瓷的清洗;(3)离子注入Mo:将上述清洗后的SiC陶瓷置于离子注入装置,用Ar离子再次清洗试样30 min,然后注入Mo离子。
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