[发明专利]吸附平台的制造方法及吸附平台有效
| 申请号： | 201310143150.3 | 申请日： | 2013-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN103567912B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 冈岛康智;三谷卓朗;林将圭 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种嵌入有缓冲材料的多孔质陶瓷制吸附平台的制造方法，及借由该制造方法获得的吸附平台。该吸附平台的制造方法包括以下步骤在由多孔质陶瓷材料所形成的上层板的下面加工下槽成闭合曲线状；使槽宽较该下槽的槽宽狭窄的贯通槽从上层板的上面贯通至下槽并加工大致倒T字形槽，借此将上层板分断成框构件与成为吸附区域的中心构件；借由非透气性的涂布材料被覆框构件的内侧面及中心构件的外侧面；在将上层板的中心构件以嵌入于框构件的状态载置于中层板的上面，并借由安装治具将中心构件定位于框构件的中心后，将上层板与中层板接合。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 平台 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种吸附平台的制造方法，该吸附平台是由多孔质陶瓷材料形成且以上面作为基板载置面的上层板，接合于具有贯通上下的多个空气吸引孔的中层板的上面，且借由与所述空气吸引孔连通的真空排气装置进行减压，而借此用以吸附保持载置于所述基板载置面的基板，其特征在于该吸附平台的制造方法包括如下步骤：在所述上层板的下面加工下槽成闭合曲线状；使槽宽较该下槽的槽宽狭窄的贯通槽从上层板的上面贯通至下槽并将剖面为倒T字形的槽加工成所述闭合曲线状，借此将所述上层板分断成成为吸附区域的中心构件与框构件；借由非透气性的涂布材料被覆所述框构件的内侧面及中心构件的外侧面；以及将所述上层板的中心构件以嵌入于框构件的状态载置于所述中层板的上面，并借由安装治具将中心构件定位于框构件的中心后，将上层板与中层板接合。
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