[发明专利]8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法

摘要

本发明涉及一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片及制备方法，属于光学薄膜技术领域。该滤光片包括锗基底、基底一侧长波通膜系和另一侧短波通膜系，长波通膜系结构为：（0.5lh0.5l）^10（0.57l1.14h0.57l）^6，中心波长为5980nm，短波通膜系结构为：（lh）^10，中心波长为11400nm，l和h分别依次为硫化锌和碲化铅膜层；通过在真空中加热基底，在离子源通氩气下用电阻蒸发分别在基底两侧沉积长、短波通膜系，冷却后制得。该滤光片在8.4～8.8μm透过率高，0.9～8.25μm和8.95～14μm宽截止，膜系层数较少，满足遥感探测系统使用要求；该方法简便稳定，成品率高。

主权项

一种8.4～8.8μm透过的长波红外滤光片，其特征在于：所述滤光片包括锗基底、基底一侧的长波通膜系和另一侧的短波通膜系；长波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（0.5lh0.5l）^10（0.57l1.14h0.57l）^6，中心波长为5980nm；l为硫化锌膜层，0.5l表示硫化锌膜层厚度为0.5个基本厚度，0.57l表示硫化锌膜层厚度为0.57个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，1.14h表示碲化铅膜层厚度为1.14个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（0.5lh0.5l）的周期数，6为基本膜堆（0.57l1.14h0.57l）的周期数；短波通膜系包括交替叠加的硫化锌和碲化铅膜层，结构为：（lh）^10，中心波长为11400nm；l为硫化锌膜层，表示硫化锌膜层厚度为1个基本厚度，h为碲化铅膜层，表示碲化铅膜层厚度为1个基本厚度，所述基本厚度为光学厚度中心波长的四分之一，10为基本膜堆（lh）的周期数。