[发明专利]高密度磁传感装置及其磁感应方法、制备工艺

摘要

本发明揭示了一种高密度磁传感装置及其磁感应方法、制备工艺，所述装置包括第三方向（Z轴）磁传感部件，该第三方向磁传感部件包括基底、导磁单元、感应单元、外围电路；基底的表面开有沟槽；导磁单元包括分别设置于沟槽的两侧的第一导磁部分、第二导磁部分；感应单元设置于所述基底表面上、所述沟槽的两侧，分别与所述沟槽中的第一导磁部分及第二导磁部分相互配合；感应单元用以接收所述导磁单元输出的第三方向的磁信号，并根据该磁信号测量出第三方向对应的磁场强度及磁场方向。本发明可将X轴、Y轴、Z轴的感应器件设置在同一个圆晶或芯片上，具有良好的可制造性、优异的性能和明显的价格竞争力；并可降低元件单位面积，提示芯片面积的利用率。

主权项

一种高密度磁传感装置，其特征在于，所述装置包括垂直方向磁传感部件，该垂直方向磁传感部件包括：‑基底，其表面开有沟槽；‑导磁单元，含有磁材料层，导磁单元包括分别设置于沟槽的两侧的第一导磁部分、第二导磁部分；第一导磁部分、第二导磁部分的主体部分设置于沟槽内，并有部分露出沟槽至基底表面；第一导磁部分及第二导磁部分用以收集垂直方向的磁场信号，并将该磁场信号输出至感应单元；‑感应单元，设置于沟槽的两侧、所述基底表面上，与所述沟槽中的第一导磁部分及第二导磁部分相互配合；所述感应单元是感应与基底表面平行方向的磁传感器，含有磁材料层，用以接收所述导磁单元输出的来自垂直方向的磁信号，并根据该磁信号测量出垂直方向对应的磁场强度及磁场方向；所述垂直方向为基底表面的垂直方向；所述磁传感装置还包括第一磁传感器、第二磁传感器，分别用以感应与基底表面平行的第一方向、第二方向，第一方向、第二方向相互垂直。