[发明专利]一种光阻涂布装置及其涂布方法有效
| 申请号： | 201310147362.9 | 申请日： | 2013-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN103246165A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 徐彬;柯智胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻涂布装置及其涂布方法，其中光阻涂布装置包括：喷嘴，所述喷嘴包括相对设置的第一喷嘴分体、第二喷嘴分体以及将所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体安装固定的顶板，所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体之间形成狭缝，在所述第一喷嘴分体的操作面的中部设有第一光阻注入管，所述第一光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通，在所述第一喷嘴分体的操作面上还设有两个第二光阻注入管，分别位于所述第一光阻注入管的两侧，所述第二光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通。通过增设第二光阻注入管，增加了狭缝两侧的光阻注入量，使得吐出的光阻量保持大体一致，从而确保光阻涂布到基板上的均匀度，提高涂布品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻涂布 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种光阻涂布装置，包括：喷嘴，所述喷嘴包括相对设置的第一喷嘴分体、第二喷嘴分体以及将所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体安装固定的顶板，所述第一喷嘴分体和第二喷嘴分体之间形成狭缝，在所述第一喷嘴分体的操作面的中部设有第一光阻注入管，所述第一光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通，其特征在于，在所述第一喷嘴分体的操作面上还设有两个第二光阻注入管，分别位于所述第一光阻注入管的两侧，所述第二光阻注入管贯穿所述第一喷嘴分体，与所述狭缝连通。
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