[发明专利]一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法无效

专利信息
申请号: 201310147841.0 申请日: 2013-04-26
公开(公告)号: CN103264228A 公开(公告)日: 2013-08-28
发明(设计)人: 丁建宁;坎标;高杰;董蓉;李凯 申请(专利权)人: 常州大学
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;B23K26/04
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 楼高潮
地址: 213164 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种频率修正方法,一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法。本发明通过采用飞秒激光作用晶振片表面去除表面上难以用一般化学方法去除的镀膜或其它物质,从而使晶振片重新工作在标准频率下,保证测量精度,延长晶振片的使用次数。
搜索关键词: 一种 基于 激光 技术 qcm 晶振片修频 方法
【主权项】:
一种基于飞秒激光技术的QCM晶振片修频方法,其特征在于:首先将激光泵浦源产生的激光光源引入飞秒激光器的谐振腔,经过谐振和放大后产生并输出飞秒激光,获得的飞秒激光经过全反射镜反射后改变路径方向,经过衰减镜将飞秒激光能量衰减,再穿过开启的光闸,然后通过聚焦镜,最后作用在晶振片表面上;晶振片表面的金薄膜及其上附着的杂质在飞秒激光的作用下局部形成等离子体或气体,并脱离晶振片表面,使晶振片等效质量减小;清理结束后关闭光闸和激光泵浦源。
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