[发明专利]分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置及测量方法

摘要

本发明所设计的一种主轴回转误差的电跳动在位测量装置，在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且其所在的圆周与被测回转体同轴，在第二电涡流传感器的轴向位置紧靠设有一个角度传感器，上述所有传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。主轴回转误差的电跳动在位测量方法，通过调节装置使各个传感器处于合适位置；测量时，被测回转体旋转，转速固定不变，在测量软件中设置测量参数，启动传感器开始进行测量及数据采集，计算机对传输进来的数据进行分析处理，最后输出测量处理结果。

主权项

一种分离主轴回转误差的电跳动在位测量装置，它主要包括激光位移传感器、电涡流传感器和角度传感器，其特征是在被测回转体外侧设有激光位移传感器、第一电涡流传感器和第二电涡流传感器，激光位移传感器设置在第一电涡流传感器和第二电涡流传感器中间位置，第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器设置在同一圆周上，且第一电涡流传感器、第二电涡流传感器与激光位移传感器所在的圆周与被测回转体同轴，角度传感器与第二电涡流传感器在轴向上紧靠布置。角度传感器、第一电涡流传感器、第二电涡流传感器和激光位移传感器均与控制模块连接，控制模块将信号输出给采集模块，采集模块再与上机位连接。