[发明专利]防尘薄膜组件有效
| 申请号： | 201310149430.5 | 申请日： | 2013-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN103376671A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 堀越淳 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 郭广迅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使以强压力将防尘薄膜组件压在光掩模等上，框架和光掩模等也不接触，由此可以防止光掩模等上的受伤的防尘薄膜组件。该防尘薄膜组件，在其框架的一个端面上，贴附防尘薄膜，所述框架的另一个端面上设置粘着层，其特征在于：所述粘着层，含有粘着剂以及粒子状的空间剂，该空间剂的硬度为，A型硬度计测定值80以下，比所述粘着剂还硬。 | ||
| 搜索关键词： | 防尘 薄膜 组件 | ||
【主权项】：
一种防尘薄膜组件，其为在框架的一个端面上，贴附防尘薄膜，在所述框架的另一个端面上设置粘着层，其特征在于：所述粘着层，含有粘着剂以及粒子状的空间剂，该空间剂的硬度为，A型硬度计测定值80以下，比所述粘着剂还硬。
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