[发明专利]一种蓝宝石单晶炉上部保温结构有效

专利信息
申请号: 201310151068.5 申请日: 2013-04-27
公开(公告)号: CN103233270A 公开(公告)日: 2013-08-07
发明(设计)人: 左洪波;杨鑫宏;丁广博 申请(专利权)人: 哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B15/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 发明提供了一种蓝宝石单晶炉上部保温结构。该结构由上至下依次为圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏,固定支撑结构为单层圆形不锈钢板,钼隔热屏由多层钼片组成,氧化锆保温层由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆砖组接而成,钼片上开有圆形中心孔和矩形观察孔,圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏之间采用钼螺栓和钼螺母连接固定。本发明能够减少上部热量损失,增强保温效果,建立合理温度梯度,使温场更加易于调节,从而解决传统泡生法单晶炉中使用的钼上隔热屏结构在高温环境下使用过程中炉内上部散热快,温场不够合理,温度调节难控制等问题。
搜索关键词: 一种 蓝宝石 单晶炉 上部 保温 结构
【主权项】:
一种蓝宝石单晶炉上部保温结构,其特征在于该结构由上至下依次为圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏,固定支撑结构为单层圆形不锈钢板,钼隔热屏由多层钼片组成,氧化锆保温层由氧化锆纤维烧结制得的氧化锆砖组接而成,钼片上开有圆形中心孔和矩形观察孔,圆形支撑结构、氧化锆保温层和钼隔热屏之间采用钼螺栓和钼螺母连接固定。
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