[发明专利]一种蓝宝石单晶炉保温结构

摘要

本发明提供了一种蓝宝石单晶炉保温结构。该蓝宝石单晶炉保温结构包括炉盖下氧化锆纤维砖保温结构、上隔热屏氧化锆纤维砖结构、侧隔热屏氧化锆纤维砖结构和下隔热屏氧化锆纤维砖结构。本发明能够有效利用热能，减少热量损失，增强保温效果，建立合理温度梯度，使温场更加易于调节，解决传统泡生法单晶炉中热能利用率低，使用的钼隔热屏结构在高温环境下挥发、变形，使用寿命短等问题。

主权项

一种蓝宝石单晶炉保温结构，其特征在于它包括炉盖下氧化锆纤维砖保温结构、上隔热屏氧化锆纤维砖结构、侧隔热屏氧化锆纤维砖结构和下隔热屏氧化锆纤维砖结构，炉盖下氧化锆纤维砖保温结构包括设置于大炉盖下的氧化锆纤维砖圆环保温层；上隔热屏氧化锆纤维砖结构包括圆形支撑结构与上部钼隔热屏，上部钼隔热屏由多层钼片组成，在圆形支撑结构与钼片之间有与钼片直径相同的第一氧化锆保温层，第一氧化锆保温层为扇形氧化锆纤维砖拼接成的圆环形块体；侧隔热屏氧化锆纤维砖结构包括多层不同直径的氧化锆保温桶，每层氧化锆保温桶在高度方向上由多层氧化锆纤维砖环瓣拼接的圆环组成；下隔热屏氧化锆纤维砖结构包括第二氧化锆保温层和下部钼隔热屏，下部钼隔热屏由多层钼片组成，第二氧化锆保温层与钼片间设置有分隔用的氧化锆陶瓷环，第二氧化锆保温层由氧化锆纤维砖组成，第二氧化锆保温层和钼片中心设置有圆形通孔，氧化锆陶瓷环由氧化锆纤维砖组接而成。