[发明专利]一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法

摘要

一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法，属于激光领域。其包括以下步骤：将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后叠放置于加工平台，模板置于玻璃基片上方，利用CO2激光在模板上离焦辐照，离焦距离约为30‐50㎜，激光功率为40～50W，辐照时间10～60s；停止辐照，吹气体冷却5～10s，完成加工。本发明适用于在玻璃基片上加工微透镜或微透镜阵列，透镜孔径及间距由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定，而透镜深度可通过辐照的功率密度及时间来控制，加工灵活性强。

主权项

一种掩膜贴片选区CO2激光辐照制作玻璃微透镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）选择带有圆孔或圆孔阵列的铜镍合金模板，清洗后紧挨着放在玻璃片上，然后置于CO2激光下方；（2）利用CO2激光离焦30‑50mm辐照铜镍合金模板，根据加工要求辐照10‑60s,功率40‑50W；（3）停止辐照，吹惰性气体冷却5‑10s；（4）分开玻璃与模板，完成加工。