[发明专利]多晶硅片的制绒剂及利用该制绒剂的制绒方法有效
| 申请号： | 201310155993.5 | 申请日： | 2013-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN103266355A | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 孙励斌;竺峰 | 申请（专利权）人： | 竺峰 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24;H01L31/18 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人： | 景丰强 |
| 地址： | 315032 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸40%～55%；氢氟酸8%～12%；添加剂0.1%～0.5%；水32.5%～51.9%；添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂10%～15%；亚硝酸盐5%～10%；水75%～85%。本发明还公开了利用制绒剂的制绒方法。本发明的制绒剂使用寿命较长，制绒时能有效减缓腐蚀速率，提高制绒质量。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅片 制绒剂 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸 40%～55%；氢氟酸 8%～12%；添加剂 0.1%～0.5%；水 32.5%～51.9%；前述的添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂 10%～15%；亚硝酸盐 5%～10%；水 75%～85%。
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