[发明专利]一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法有效
| 申请号： | 201310156290.4 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103230901A | 公开（公告）日： | 2013-08-07 |
| 发明（设计）人： | 梁迎春;曹永智;卢礼华;于福利;张庆春 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口，下节流板设在透镜系统的正下方，排气口设在排气罩的顶面上，排气罩系统设在光学系统上端，上节流板设在光学系统内，下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部，气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果，使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保持 激光 传输 光学系统 洁净 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置，其特征在于：保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置包括进气系统和排气罩系统（1‑4），进气系统包括上节流板（1‑1）和下节流板（1‑2），上节流板（1‑1）的底面上设置有第一进气口（2‑1），上节流板（1‑1）的顶面上密布有多个第一冲扫气口（2‑2），第一进气口（2‑1）与第一冲扫气口（2‑2）连通，下节流板（1‑2）的底面上设置有第二进气口（3‑1），下节流板（1‑2）的顶面上密布有多个第二冲扫气口（3‑2），第二进气口（3‑1）与第二冲扫气口（3‑2）连通，上节流板（1‑1）和下节流板（1‑2）上下阶梯式布置，下节流板（1‑2）设置在透镜系统（1‑3）的正下方，排气罩系统（1‑4）包括排气罩（4‑1）和排气口（4‑2），排气口（4‑2）设置在排气罩（4‑1）的顶面上，排气罩系统（1‑4）设置在光学系统（1‑5）上端，上节流板（1‑1）设置在光学系统（1‑5）内，且位于透镜系统（1‑3）的一侧，下节流板（1‑2）设置在光学系统（1‑5）下端。
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