[发明专利]通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法及结构在审
| 申请号： | 201310157115.7 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103226361A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 徐宁;曹圣豪;王磊 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/00 | 分类号： | G05D3/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法及结构，所述方法为通过三个定位传感器分别对应地收集光学平台Z方向上的不同时处于一直线上的三个位置的信号；通过定位放大器转换Z方向的三个位置的信号分别为电信号；将Z方向的三个电信号分别产生Z方向的补偿电量；转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的三个第一补偿量和Z方向的三个第二补偿量；接收同一Z方向的第一补偿量的空气吊架和第二补偿量的主动升降部件共同控制光学平台上对应的位置上升或下降，调整Z方向上的光学平台与底座之间的位置状态，本发明简化了主动隔振系统控制光学平台在Z方向免受振动干扰的过程，以及降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 主动 系统 控制 光学 平台 方向 方法 结构 | ||
【主权项】：
一种通过主动隔振系统控制光学平台Z方向的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：通过三个定位传感器分别对应地收集光学平台Z方向上的不同时处于一直线上的三个位置的信号；通过定位放大器转换Z方向的三个位置的信号分别为电信号；通过控制板分析处理Z方向的三个电信号分别产生Z方向的补偿电量；通过空气控制信号放大器转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第一补偿量，通过电路控制信号放大器转换Z方向的三个补偿电量分别产生Z方向的第二补偿量；接收同一Z方向的第一补偿量的空气吊架和第二补偿量的主动升降部件共同控制光学平台上对应的位置上升或下降，调整Z方向上的光学平台与底座之间的位置状态。
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