[发明专利]采用柔性纸基的可擦写薄膜阻变存储单元及其制备方法有效
| 申请号： | 201310157318.6 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103247758A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张群;刘宝营 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于非易失性存储器件技术领域，具体为一种采用柔性纸基的可擦写薄膜阻变存储器存储单元。本发明以柔性可弯折的油墨彩印纸为基板，氧化锡薄膜作为阻变层，氧化钼薄膜作为氧存储层，具体结构组成依次为：油墨彩印纸基板，作为底电极的金属镍薄膜，氧化锡薄膜，氧化钼薄膜，作为顶电极的金属钼薄膜。本发明在低温条件下(~100℃)利用直流磁控溅射技术，在基板依次制备金属镍薄膜、氧化锡薄膜、氧化钼薄膜、金属钼薄膜。本发明制备的阻变存储单元具有良好的弯折耐久性等特性，在非易失性存储领域、柔性电子器件领域具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 柔性 擦写 薄膜 存储 单元 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种采用柔性纸基的可擦写薄膜阻变存储器存储单元，其特征在于以柔性可弯折的油墨彩印纸为基板，氧化锡SnOx(0
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