[发明专利]发光二极管制造方法无效
申请号: | 201310158162.3 | 申请日: | 2013-05-02 |
公开(公告)号: | CN104134722A | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 邱镜学;林雅雯;凃博闵;黄世晟 | 申请(专利权)人: | 展晶科技(深圳)有限公司;荣创能源科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/10 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 518109 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种发光二极管的制造方法,包括以下步骤:提供一个基板;在基板上形成未掺杂的GaN层;蚀刻未掺杂的GaN层与基板相反的表面形成多个凹槽;在未掺杂的GaN层的具有凹槽的表面生长布拉格反射层;以及在布拉格反射的表面依次形成N型GaN层、活性层以及P型GaN层。通过在未掺杂的GaN层表面形成凹槽以及在凹槽上生长布拉格反射层,所述布拉格反射层将形成波浪形的弯曲结构。波浪形的布拉格反射层除了反射垂直于基板方向的光线外,亦可对偏离垂直于基板方向的光线进行有效的反射,从而提高发光二极管的出光效率。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管的制造方法,包括以下步骤:提供一个基板;在基板上形成未掺杂的GaN层;蚀刻未掺杂的GaN层与基板相反的表面形成多个凹槽;在未掺杂的GaN层的具有凹槽的表面生长布拉格反射层;以及在布拉格反射的表面依次形成N型GaN层、活性层以及P型GaN层。
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