[发明专利]一种三明治结构线栅宽带偏振器及其制备方法无效
| 申请号： | 201310158611.4 | 申请日： | 2013-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN103197368A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 卢明辉;宋宝生;林亮;徐叶龙;葛海雄;陈延峰 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种三明治结构线栅宽带偏振器及其制备方法。本发明的偏振器，由基板上的Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅构成，基板为在通讯波段透明的光学材料；Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅的结构参数为：线栅周期350-400纳米，线栅占空比60%-50%，线栅总厚度300-400纳米，第一层金属铝的厚度为80-170nm，SiO2的厚度为50-120nm，第二层金属铝的厚度为80-210nm。本发明方法步骤为：清洗基板、基板表面旋涂SU8胶、旋涂含Si的紫外压印胶、在含Si的紫外压印胶表面形成纳米线栅结构、刻蚀残余层、在SU8胶上刻出纳米线栅结构、沉积薄膜（Al、SiO2、Al）、超声举离，形成Al-SiO2-Al三明治结构纳米线栅。本发明宽带偏振器在1300-2000nm波段范围内不仅具有很高的TM波透射率，而且具有很高的消光比，且工艺简单、加工误差容忍度好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 结构 宽带 偏振 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种三明治结构线栅宽带偏振器，由基板上的Al‑SiO2‑Al三明治结构纳米线栅构成，其特征在于：所述基板为在通讯波段透明的光学材料；所述Al‑SiO2‑Al三明治结构纳米线栅的结构参数为：线栅周期350‑400纳米，线栅占空比60%‑50%，线栅总厚度300‑400纳米。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310158611.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
