[发明专利]衬底处理设备与加热设备有效
| 申请号： | 201310158850.X | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103383188A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 林一焕;沈长禹;金哲洙;崔乘爱 | 申请（专利权）人： | AP系统股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H05B3/64;H05B7/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明;张洋 |
| 地址： | 韩国京畿道华城*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及衬底处理设备与加热设备。本发明涉及用于对衬底进行热处理的设备，且更明确地说，涉及用于执行平板显示器面板的衬底的热处理的衬底处理设备。根据本发明的实施例，一种衬底处理设备包括：处理室，具有衬底处理空间；加热外壳，具有发射辐射能的加热灯和反射从所述加热灯发射的辐射能的反射块；以及窗口，在所述处理室与所述加热外壳之间维持密封且将所述辐射能透射到衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 处理 设备 加热 | ||
【主权项】：
一种衬底处理设备，包括：处理室，具有衬底处理空间；加热外壳，具有发射辐射能的加热灯和反射从所述加热灯发射的辐射能的反射块；以及窗口，维持所述处理室与所述加热外壳之间的密封且将所述辐射能透射到衬底。
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