[发明专利]电磁蒸镀装置在审
| 申请号： | 201310159305.2 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN104131251A | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李嘉宸;黃添旺 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201506 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED蒸镀装置，确切的说，具体涉及一种电磁蒸镀装置，通过将传统镀膜装置上放置的永磁体替换为电磁铁，且通电后形成多个电磁区，该多个磁区形成阵列式矩阵回形结构；此外，每个磁区上方还设置有磁力传感器，以实时监控各磁区电磁铁的磁力强度，并将磁力强度转化为电流信号传输至可编程控制装置，该可编程控制装置根据磁力强度信号及金属遮罩变形情况等各种工艺参数，实时调整相应磁区的磁力强度，在将金属遮罩更加紧密的贴合在硬质基板的同时，有效避免在蒸镀工艺中出现混色的问题，进而提高产品性能及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁 装置 | ||
【主权项】：
一种电磁蒸镀装置，应用于一硬质基板的封装工艺中，所述电磁蒸镀装置包括金属遮罩和夹持框，其特征在于，还包括多个电磁铁单元和可编程控制设备；所述多个电磁铁单元均固定设置在所述夹持框上，且所述可编程控制设备分别与每个电磁铁单元电连接，以控制每个电磁铁单元的磁极性及磁性强度。
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