[发明专利]MEMS麦克风及其制作方法

摘要

本发明提供一种MEMS麦克风和制作方法，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极；背极板包括第一背极板和第二背极板，绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，支撑层包括第一支撑层和第二支撑层。第一绝缘层设置在基底和第一背极板之间，第二绝缘层设置在第一背极板的上方。第一支撑层设置在第二绝缘层和振膜之间，第二支撑层设置在振膜和第三绝缘层之间，在振膜上设置有向第二绝缘层方向延伸的振膜突出件，在第三绝缘层上设置有向振膜方向延伸的绝缘层突出件；第二背极板设置在第三绝缘层上方；电极分别设置在第一背极板和第二背极板上。本发明提供的MEMS麦克风和制作方法，能够解决总谐波失真值、振膜与背极板黏粘和短路的问题。

主权项

一种MEMS麦克风，包括基底、背极板、振膜、绝缘层、支撑层和电极；其中，所述背极板包括第一背极板和第二背极板，所述绝缘层包括第一绝缘层、第二绝缘层和第三绝缘层，所述支撑层包括第一支撑层和第二支撑层；所述第一绝缘层设置在所述基底和所述第一背极板之间，所述第二绝缘层设置在所述第一背极板的上方；所述第一支撑层设置在所述第二绝缘层和所述振膜之间，所述第二支撑层设置在所述振膜和所述第三绝缘层之间，其中，在所述振膜上设置有向所述第二绝缘层方向延伸的振膜突出件，在所述第三绝缘层上设置有向所述振膜方向延伸的绝缘层突出件；其中，所述第二背极板设置在所述第三绝缘层上方；所述电极分别设置在所述第一背极板和所述第二背极板上。